Топография поверхности
|
Интерферометр Zygo Характеризация и количественная оценка шероховатости поверхности, высоты ступеней, критических размеров и других топографических характеристик. Все измерения являются неразрушающими, быстрыми и не требуют пробоподготовки Измерение высоту профиля в диапазоне от менее 1 нм до 20000 мкм |
|
