Инструментальное наноиндентирование представляет собой метод испытания, основанный на вдавливании индентора Берковича в материал под действием плавно возрастающей нагрузки с последующим ее снятием и регистрацией зависимости перемещения наконечника от нагрузки.
При наноиндентировании значение твердости вычисляется в процессе математической обработки зависимости прикладываемой нагрузки от глубины проникновения индентора. Когда индентор, находящийся в контакте с поверхностью образца под нагрузкой, погружается в материал, образуется отпечаток, обусловленный постоянной (пластической) и временной (упругой) деформацией.