Исследовать распределение химических элементов и примесей в различных материалах с разрешением порядка микрометров можно с использованием рентгеноспектрального микроанализа. Чаще всего определение состава микрообластей происходит на шлифе.
Основные особенности, которые изучаются с использованием данного метода, - микросегрегации, диффузионные зоны, ликвации, включения, фазовые составляющие.

